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      高溫無氧化烤箱

      高溫無氧化烤箱

      簡要描述:

      高溫無氧化烤箱,半導體制程烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個箱體結構分為:膛體組件、箱架組件和熱風組件三個部分,膛體腔,內表面全鏡面設計,風道由左、右、后導風板與箱體內壁組合而成,膛體頂部有排風管道。

      高溫無氧化烤箱簡介:

      高溫無氧化烤箱用于PI、BCB膠高溫固化烘烤。整個箱體結構分為:膛體組件、箱架組件和熱風組件三個部分,膛體腔,內表面全鏡面設計,風道由左、右、后導風板與箱體內壁組合而成,膛體頂部有排風管道。
      技術參數:
      1. zui高溫度:450℃;可自定義
      2. 工作室尺寸:450×650×450mm(W×H×D);可自定義
      3. 箱體數量:一個;可自定義兩箱、四箱
      4. 腔體材料:SUS304鏡面不銹鋼;
      5. 加熱元件:不銹鋼加熱器;
      6. 熱電偶:國產,K分度;
      7. 空箱升溫時間:每分鐘5度,全程平均;
      8. 空箱降溫時間:300℃-90℃降溫時間為1.5小時左右(采用鼓風冷翅片散熱器或氣體);
      9. 記錄儀:溫度和氧含量無紙記錄儀;
      10. 氧含量-氧分析儀:
        高溫狀態氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量
        低溫狀態氧含量:≤ 50ppm +氣源氧含量
      11. 溫度波動度:±1℃;
      12. 溫度均勻度:±5%(300℃平臺);
      基本配置:
      1. 控制:每個箱體單獨控溫、通氣、報警保護;
      2. 排風口:一個;
      3. 控溫儀表:日本理化FP23溫控儀;
      4. 控溫段數:20×20段;
      5. 控溫點數:一點;
      6. 超溫報警點數:一點;
      7. 檢測點數:三點;
      8. 高溫開爐門保護:當溫度超過100℃,電子鎖自動鎖緊,防止高溫開門
      9. 報警保護:超溫、斷偶等聲光報警保護;
      10. 超溫保護:獨立感溫式超溫保護器;
      11. 電機保護:電機過電流、過熱保護;                      
      12. 表面溫升:<30℃;
      13. 加熱功率:15kW;   
      14. 保溫功率: ≤9kW;
      15. 電源:容量大于80KVA,3相5線,220/380VAC,50Hz;

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