HMDS預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS真空烘箱技術參數：
電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率：2400W
控溫范圍：RT+10℃-250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動度：±0.5℃
達到真空度：133Pa
容積：90L
工作室尺寸（mm）：450*450*450
載物托架：2塊
時間單位：min
二、HMDS真空烘箱特點：
1、 采用醫用級不銹鋼316L材質制造，內膽為不銹鋼316L；加熱器均勻分布在內膽
外壁四周，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀
察工作室內物體一目了然。
2、 箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內高真空度。
3、 微電腦智能控溫儀，具有設定，測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能，控溫
精確，可靠。
4、 智能化觸摸屏控制系統配套進口PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序，
溫度，真空度及每一程序時間。
5、 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外
漏顧慮。
6、 整個系統采用優質材料制造，無發塵材料，適用100 級光刻間凈化環境。
