納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統(tǒng)生產(chǎn)工藝周期短，提高生產(chǎn)效率； 修飾液用量極少，節(jié)約成本90%； 閉環(huán)的工藝過程，安全系數(shù)高。

可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱 用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積 晶圓基底脫水烘烤

HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預(yù)處理的工藝，將晶圓表面親水性的置換為疏水性的，使晶圓表面接觸角達到65或更高。

HMDS預(yù)處理機H-2 智能HMDS真空烘箱為半導(dǎo)體應(yīng)用的光刻膠粘合促進劑工藝設(shè)備，

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷裕鰪姳砻娴酿じ叫裕℉MDS-六甲基二硅胺烷）。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預(yù)處理烘箱保護裝置：緊急停止，HMDS藥液泄漏報&警提示，HMDS低液位報&警，超溫保護，漏電保護，過熱保護等

HMDS真空系統(tǒng) HMDS預(yù)處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱可快速、均勻、經(jīng)濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理，從而改善光刻膠的附著力。