HMDS真空烤箱，全自動HMDS預處理系統通過對烤箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

無塵烤箱，高溫無塵無氧烤箱工作室為不銹鋼結構。適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業。

潔凈烘箱，百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。

前烘潔凈烘箱，半導體工藝烤箱，用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風循環方式。

半導體光刻烤箱晶圓涂膠烤箱、光刻涂膠用烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環。經耐高溫高效空氣過濾器過濾，使烘箱工作室內處于無塵狀態。

半導體工藝潔凈烘箱，百級無塵烘箱具有*設計的強鼓風循環系統確保了溫度的穩定性，高效循環過濾系統確保箱內的潔凈度,控溫裝置采用 PID 數顯控溫（可選觸摸屏等），直觀醒目，設有可靠性保護裝置。

HMDS烘箱，半導體工藝HMDS設備有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。