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      百級(jí)烤箱,百級(jí)充氮烤箱

      百級(jí)烤箱,百級(jí)充氮烤箱

      簡(jiǎn)要描述:

      百級(jí)烤箱,百級(jí)充氮烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、LED、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

      百級(jí)烤箱,百級(jí)充氮烤箱用途:
           百級(jí)烤箱,百級(jí)充氮烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén);也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

      特點(diǎn):
      1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
      2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
      3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動(dòng)風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過(guò)濾效率99.99%,Class 100
      4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場(chǎng)分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度

      技術(shù)參數(shù):

      1.主要技術(shù)指標(biāo):
       無(wú)塵等級(jí):Class 100;     

       溫度范圍:RT+10200℃;
       溫度均勻度:±2℃;    

       溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)        
       溫控精度:±0.1℃;        

       工作尺寸:W1600×D1600×H1000mm 可自定內(nèi)部尺寸        
       電源:380v , 50Hz,20KW    

       網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

       潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理HEPA過(guò)濾器與前出風(fēng)水平層對(duì)流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級(jí)潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。
      M計(jì)裝可編程控制1模式20步驟,zui多可做10個(gè)模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。
      簡(jiǎn)單操作的標(biāo)準(zhǔn)計(jì)裝
      標(biāo)準(zhǔn)配置定值運(yùn)行模式以及自動(dòng)啟動(dòng)·自動(dòng)停止等可設(shè)定動(dòng)作的程序運(yùn)行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過(guò)升防止器。 

      2、箱體結(jié)構(gòu):
         烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
         箱體材料:外箱采用優(yōu)質(zhì)拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
         內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;

      3、完善的安全保護(hù)措施:
           漏電斷路器、控制線(xiàn)路保險(xiǎn)絲裝置、 超溫防止保護(hù)裝置、 電熱過(guò)電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)、 機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器,逆向防止器、門(mén)面安全開(kāi)關(guān)

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