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      HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置

      HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置

      簡(jiǎn)要描述:

      HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

      HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置用途:

        HMDS增粘裝置通過對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

      HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置技術(shù)性能:

      尺寸(深*寬*高):

        內(nèi)腔尺寸:300×300×300(mm)

        外形尺寸:500×680×780(mm)

      材質(zhì) :外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼,內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼

      溫度使用范圍: 80-200℃

      溫度分辨率: 0.1℃

      溫度波動(dòng)度: ≤±0.5

      真空度: ≤100pa(1torr)

      潔凈度: 設(shè)備采用無塵材料,適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境

      電源及總功率: AC 220V±10% / 50HZ  , 總功率約2.5KW    

      控制儀表: 人機(jī)界面

      擱板層數(shù): 一層

      HMDS控制: 可控制HMDS藥液添加量

      真空泵: 無油渦旋真空泵

      HMDS增粘裝置使用環(huán)境

      安裝設(shè)備使用空開電源,220V、3.0KW ;

      工業(yè)用氮?dú)饧兌?9.999%,壓力0.2MP,?8mm軟管快插接口;    

      尾氣排放KF25閥接口;

      周圍無強(qiáng)烈電磁場(chǎng)影響,周圍無強(qiáng)烈震動(dòng);

      潔凈車間,周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì);

      無陽(yáng)光直接照射或其它熱源直接輻射;

      周圍無強(qiáng)烈氣流,當(dāng)周圍空氣需要強(qiáng)制流動(dòng)時(shí),氣流不應(yīng)在直接吹到箱體上;

      設(shè)備應(yīng)放在堅(jiān)固平穩(wěn)的平面上,并使其保持水平狀態(tài);

      環(huán)境溫、濕度5℃~+35℃,相對(duì)濕度:≤85%;




      上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營(yíng)優(yōu)質(zhì)的HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置等,歡迎來電咨詢HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置詳細(xì)資料等信息
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